本发明公开了一种在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法，以硅片作为溅射靶材，以负极集流体材料作为沉积基底，将负极集流体材料和硅片同时固定于试样台上，采用激光溅射沉积的方法，靶材硅片在激光的烧蚀作用下与背景气体氧气发生反应生成SiOx沉积在负极集流体材料基底上。将本发明制备得到的沉积有SiOx薄膜的负极集流体材料作为
锂离子电池负极，是一种具有高容量和循环稳定性的锂离子电池
负极材料，且不加入任何粘结剂和导电剂避免了添加剂对负极材料
电化学性能的不良影响。本发明实施费用低、操作简便，可控性高，是一种高效经济的合成方法。
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来源：北方有色网
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