本发明提供一种同时形成
锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下,将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出,向第二辊(8)搬送,直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此,打开闸门(12a),使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发,向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此,在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后,关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4),使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b),再次进行蒸镀,在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层,并且在第二能够蒸镀区域(60b),在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。
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来源：北方有色网
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