本发明涉及一种精三氯氢硅的生产方法,包括(1)在工业级三氯氢硅精馏工段增加预塔装置;(2)在预塔前增加加热器对加料进行预热;(3)预塔、三氯氢硅塔、四氯化硅塔内部采用填料和塔板复合的形式;(4)四氯化硅可来自四氯化硅塔下部的气相侧采;(5)三氯氢硅塔和四氯化硅塔可集成为一个塔或者采用双效精馏方法;(6)在冷却工段中
除尘器之后冷凝器前增加洗涤塔装置;(7)对于洗涤塔采用底温余热驱动溴化
锂机组产生冷水供冷却使用;(8)对合成热进行热集成和节能利用;(9)在三氯氢硅进行超纯精馏和精制过程中采用3～8个精馏塔和吸附塔或者络合精馏塔装置。本发明有投资低、能耗低且目标产物三氯氢硅的分离纯度高等优点。
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来源：北方有色网
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