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半导体功率芯片用金刚石单晶基片

939   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:24:43
本发明涉及半导体基片技术领域,且公开了一种半导体功率芯片用金刚石单晶基片,包括以下步骤:1)将半导体材料加热至4000摄氏度状态,得到熔融半导体基片。该一种半导体功率芯片用金刚石单晶基片,通过在P型披覆层植入磷,N型披覆层植入钡和,并通过N型欧姆电极连接和P型欧姆电极与金刚石薄片连接,形成具有金刚石单晶PIN二极体的基片,植入磷的P型披覆层与植入钡和锂的N型披覆层形成性能相当的可调式电子元件,并且通电产生的反应催生金刚石单晶,由于金刚石单晶这种材料具备超宽能隙,超过碳化硅与氮化镓,它的超宽能隙可防止在高温下产生热量,即使在非常高的温度和辐射强度下,金刚石单晶仍然保持透明,实现了具有极佳的散热性能,提高了使用寿命和传输效率。
声明:
“半导体功率芯片用金刚石单晶基片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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