本发明涉及一种Ge(Ⅱ)前驱体及其制备方法和应用，所述Ge(Ⅱ)前驱体是由如式(A)、式(B)或式(C)所示的配体与锗的二氯化物通过配位作用形成的配位化合物；所述锗的二氯化物包括二氯化锗、二氯化锗水合物或二氯化锗配合物。其制备方法为在保护性气体保护下，将配体与烷基
锂进行反应，得到锂盐；再将锂盐与锗的二氯化物进行反应，得到所述Ge(Ⅱ)前驱体。该制备方法制备工艺简单、条件温和、原料低廉、能耗低、经济环保，且制备得到的Ge(Ⅱ)前驱体具有优良的热稳定性、挥发性、成膜性。
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来源：北方有色网
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