本发明提供了一种片上调制的集成光学谐振腔，应用多层波导结构，实现集成光学谐振腔的有源无源器件的高度集成化设计。本发明的集成光学谐振腔为集成的上下两层结构，在下层的波导基底上制备谐振腔和传输波导，铌酸
锂波导调制器制作在谐振腔上层，铌酸锂波导调制器通过在铌酸锂波导两侧施加电场，改变波导的等效折射率，实现波导中光相位延迟量的调制。铌酸锂波导与位于下层的谐振腔或传输波导之间制备有跨层耦合器。本发明去除了外部调制器与谐振腔的光纤耦合结构，采用调制器与谐振腔的垂直直接耦合，可减小入腔光偏振消光比的衰减，以保持更高的入腔偏振消光比，简化了系统模型，提高了系统集成化程度，增强了系统可靠性。
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来源：北方有色网
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