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用于马赫曾德光调制器的晶片结构

1058   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:11:38
本发明公开了一种用于马赫曾德光调制器的晶片结构,包括钛扩散铌酸条形波导、铌酸锂层、二氧化硅缓冲层、共面行波电极、硅基底和下电极层,钛扩散铌酸锂条形波导安装在铌酸锂层的下表面中央,硅基底的上表面覆盖共面行波电极,共面行波电极共三个且其上表面覆盖一层二氧化硅缓冲层,二氧化硅缓冲层共两层且其两层间安装有铌酸锂层。
声明:
“用于马赫曾德光调制器的晶片结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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