公开了声波谐振器器件和滤波器。一种声波谐振器，包括具有表面的基板和铌酸
锂板。所述铌酸锂板的背面附接到所述基板上，但是所述铌酸锂板形成一
隔膜的部分未附接到所述基板上，所述隔膜跨越所述基板中的空腔。叉指换能器(IDT)在铌酸锂板的正面上形成，使得其中IDT的交错的指状物设置在隔膜上。IDT和铌酸锂板被配置成使得施加到IDT的射频信号激发隔膜内的剪切主声学模。铌酸锂极板的欧拉角为[0°，β，0°]，其中β大于等于40°且小于等于70°。
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来源：北方有色网
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