本发明公开了一种以氧化碲为声光介质的横波声光器件,包括表电极、换能器、键合层和声光介质,换能器通过键合层粘接于声光介质表面,表电极镀于换能器表面;所述声光介质为氧化碲晶体,换能器为铌酸
锂,铌酸锂厚度方向与Y轴的夹角θ为163±5°。本发明在相同工艺条件下,分别使用X切铌酸锂和163±5°Y切铌酸锂在氧化碲晶体上制作横波声光器件,在相同温度范围下,163±5°Y切铌酸锂产生的裂纹约为X切铌酸锂的五分之一,大幅提高了氧化碲横波声光器件的可靠性。
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来源：北方有色网
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