本发明属
锂离子薄膜电池技术领域，具体涉及一 种应用于全固态薄膜
锂电池的
正极材料掺氮
磷酸铁薄膜 (FePON)及其制备方法，本发明采用射频磁控溅射沉积法制备 掺氮磷酸铁薄膜，其特点是薄膜在室温下沉积，无需退火处理， 与固态电解质薄膜可形成良好匹配的界面。结合射频磁控溅射 制备的锂磷氧氮(LiPON)固态电解质薄膜与真空热蒸发制备的
金属锂负极薄膜，组装成全固态薄膜锂电池。电池的比容量可 达63mAh/cm2－μm，循环次数 可达100次。这些结果表明：射频磁控溅射方法制备FePON 正极薄膜，能应用于全固态薄膜锂电池。
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“掺氮磷酸铁正极薄膜材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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