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产生远紫外辐射的方法

1113   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:05:34
一种产生远紫外辐射的方法,其中辐射介质是对基本材料进行处理产生的等离子体,辐射介质的基本材料配置包括金属(Li)、铟(In)、(Sn)、锑(Sb)、碲(Te)、(Al)的卤化物中至少一种,和/或卤素,和/或惰性气体,以锂(Li)和氯(Cl)以及锂和氟(F)为基础的卤化物除外。
声明:
“产生远紫外辐射的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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