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酰胺钆配合物的合成方法及其在制备高K材料前驱体的应用

973   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 23:05:34
本发明公开一系列酰胺类稀土金属钆配合物的合成方法是在惰性气体N2或者Ar2保护下,等摩尔量的酰胺配体与正丁基在-78℃~0℃下,反应1~5小时,反应得到酰胺锂盐;三氯化钆和酰胺锂(物质的量比为1∶3)在无水有机溶剂中,反应12~70小时后,将得到的澄清反应液抽干,经有机低极性溶剂萃取,过滤,滤液浓缩,冷冻结晶得到配合物。该类配合物具有挥发性好,活性高,合成简单,产率高,成本低等优点,作为前驱体制备得到的高K材料薄膜致密和均匀,颗粒在20nm-40nm之间。
声明:
“酰胺钆配合物的合成方法及其在制备高K材料前驱体的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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