本实用新型公开了一种液态金属回路极紫外光源系统，外壳体顶部插入有输送液态金属的进液靶管，进液靶管下方设置有液态
锂靶设备，液态锂靶设备下方设置有出液靶管，出液靶管将液态金属输送至锂罐体，过滤罐体设置于锂罐体内部，过滤罐体通过管道与电磁泵，电磁泵的出口端通过管道与进液靶管连接，外壳体侧面与液态锂靶设备位置对应处具有连通的极紫外光源出口，外壳体侧面具有连通的激光束入管，激光束入管处设置有激光器，激光器产生的激光作用于液态锂靶设备之上，激光束入管侧面具有连通的真空管，真空管与抽真空设备连接，锂罐体外侧缠绕有电发热丝，锂罐体具有连通的
真空泵接头，解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。
声明：
“液态金属回路极紫外光源系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
846
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
