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钽酸锂晶片及其黑化方法

1014   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:42:10
一种钽酸晶片及其黑化方法,通过在低于居里温度的还原性环境里进行黑化反应,压电晶片表面具有小于13wt%的氧浓度,该氧浓度下的压电晶片具有较低的电阻率,在波长350~450nm的光照射下透射率为0%,有效降低电阻率、提高后段图案的分辨率,使其制作的滤波器器件良率大幅提升,进而降低制造成本。
声明:
“钽酸锂晶片及其黑化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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