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生长氟化锂单晶的装置及生长方法

1100   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:29:35
本发明公开了一种生长氟化单晶的装置,包括炉体,所述炉体内设置有保温组件和加热器,炉体内还设置有外坩埚和内坩埚,内坩埚固定设置在炉体内,外坩埚罩设在内坩埚底部,外坩埚与第一动力装置连接,第一动力装置带动外坩埚转动以及沿内坩埚轴向移动,内坩埚上方设置有籽晶杆,籽晶杆与第二动力装置连接带动籽晶杆转动以及沿内坩埚轴向移动;内坩埚底部为锥形面,且锥形面的底部上还设置有过滤孔;还公开了生长方法,通过外坩埚旋转向外聚集杂质,通过溢流的方式将无杂质的原料引入内坩埚内供生长所用。本发明能够有效的将杂质与生长用熔体表面分离,保证生长成品率。
声明:
“生长氟化锂单晶的装置及生长方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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