本发明提供了一种用于钽酸
锂晶片表面清洗的清洗剂及其制备方法与用途，所述清洗剂包含纳米胶体粒子，还涉及所述纳米胶体粒子的制备方法及制备方法和用途，所述纳米胶体粒子包括纳米二氧化硅、阳离子型胶体稳定剂和二氧化硅吸附剂，所述清洗剂包括所述纳米胶体粒子、pH调节剂、表面活性剂、润湿剂和超纯水。所述纳米胶体粒子具有优异的稳定性、颗粒清洗和抗颗粒再沉积效果，且能杜绝破片的发生，特别适用于软脆材料表面尤其是钽酸锂晶片的清洗中，具有广阔的应用前景和工业化使用价值。
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“包含纳米胶体粒子的钽酸锂清洗剂及制备方法与用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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