本发明公开一种利用真空磁控溅射沉积
铝膜的方法在传统
锂电池用正极集电极用的铝箔表面沉积一层纳米铝膜。该方法包括有步骤：将要处理的铝箔裁切到需要的尺寸，固定在镀膜设备的放卷辊位置；调整设备至可镀膜工艺条件；调整设备卷绕系统，将在放卷辊上的待镀膜铝箔展开，调整铝箔卷绕张力至铝箔运行稳定；利用离子源对铝箔表面进行等离子体轰击处理；利用卷绕式真空磁控溅射镀膜设备的离子源实行等离子体轰击，在铝箔表面沉积一定厚度的薄膜铝；铝箔表面沉积铝膜后，在真空状态下进行加热退火处理。它利用真空磁控溅射镀膜技术减小轧制铝箔粗糙度及提高其导电性能。减小了。锂电池正极集电极铝箔粗糙度及提高其导电性能。
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来源：北方有色网
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