本实用新型提供一种铌酸
锂晶片光刻甩胶真空吸头,其真空吸头为一体成型,包括:用于吸附晶片的一吸盘,该吸盘的大小形状与晶片适配,吸盘既可是圆形也可是矩形,其表面设有通孔和凹槽;所述吸盘下部设有与电机旋转轴连接的一轴颈,该轴颈与电机旋转轴的轴心连通真空系统,使晶片下表面与吸盘上表面之间形成真空吸附,所述吸盘的四周边缘固定连接有多个防止晶片离心飞出的挡块,这样就避免了甩胶过程中由于离心力的作用铌酸锂材料的晶片向外飞出打碎,从而可有效保证晶片甩胶的高成品率。在进行4英寸圆晶片或矩形晶片的甩胶时,只需更换相应真空吸头即可。
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“铌酸锂晶片光刻甩胶真空吸头” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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