本发明公开了一种
锂氮共掺杂的金刚石半导体的微波等离子气相沉积系统，涉及
半导体技术领域。包括气相沉积室，所述气相沉积室内设置有用于放置衬底的安装底座，安装底座上方用于对衬底进行加热的热丝，所述气相沉积室内还设置有粉末铺设机构，以使粉末均匀铺设在衬底上；所述粉末铺设机构包括两端开口并竖直设置的料筒、入料管道和筛料板；所述入料管道的第一端延伸至气相沉积室外，第二端延伸至料筒内且竖直朝上；所述筛料板设置于料筒的上方，筛料板正对料筒顶部开口的位置设置有筛孔。本发明能够保证在
半导体材料制备过程中，含有锂元素的粉末达到在水平向均匀铺设的效果。
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“锂氮共掺杂的金刚石半导体的微波等离子气相沉积系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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