本发明提供一种铌酸
锂晶体化学机械抛光液，属于精密/超精密加工技术领域。铌酸锂化学机械抛光液的pH为9.5‑10，包含溶质和溶剂两部分。其中，溶剂为去离子水。按溶质总质量分数100％计，其各组分和质量百分比含量如下：10～20wt％硅溶胶，1～2wt％氢氧化钾，0.02～0.05wt％表面活性剂，其余为pH调节剂，各物质在去离子水中通过超声混合均匀。本发明提供的化学机械抛光液腐蚀作用适中，在保证抛光液化学作用前提下，能够获得超光滑、无损伤的铌酸锂表面；氧化
石墨烯可以促使工件表层氧化并形成软化层，加快工件表面的抛光效率，缩短抛光时间。
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“铌酸锂晶体化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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