本发明提供用于制备无定形硼硅酸
锂化合物或掺杂的硼硅酸
锂化合物的气相沉积方法，所述方法包括：提供所述化合物的每种组分元素的蒸气源，其中所述蒸气源至少包括锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选的至少一种掺杂剂元素源；以低于约180℃的温度提供基底；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅以及任选的所述掺杂剂元素的流，其中所述氧的流速为至少约8×10
‑8m
3/s；以及将来自所述蒸气源的组分元素共沉积到所述基底上，其中所述组分元素在所述基底上反应以形成所述无定形化合物。
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“用于制备无定形硼硅酸锂的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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