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钽酸锂基片黑化方法

1062   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:39:14
本发明公开了一种钽酸基片黑化方法,包括以下步骤:钽酸锂基片通过C粉或石墨粉埋覆在石英槽或耐高温金属槽中;在低真空度还原炉内,通入带水蒸气的,还原反应炉温度控制在450‑500℃,恒温3~10h;与C粉发生反应生成、CO与钽酸锂基片进行还原反应,尾气处理后排放;还原反应结束后取出钽酸锂基片。本发明提出的钽酸锂晶片黑化工艺方法,原材料C价格便宜成本低,通过反应生成的H2、CO大部分与钽酸锂发生还原反应,效率高且生产安全。
声明:
“钽酸锂基片黑化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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