本发明提出一种与质子交换工艺过程相适应的铌酸
锂渐变折射率分布的仿真方法。本发明首先进行质子交换和退火工艺过程控制，构建铌酸锂质子交换模型框架，计算得到退火后波导所支持模式的有效折射率。构建以铌酸锂渐变折射率波导样本的模式有效折射率和计算得到的相应模式有效折射率为基础的评价函数，进行参数搜索匹配，建立符合自身工艺条件的铌酸锂质子交换模型，实现不同工艺条件下铌酸锂渐变折射率分布的准确仿真。本发明不需要额外的工艺步骤，可获得基于自身研究条件下的晶体扩散参数，具有较高的准确性和针对性，克服了现有方案折射率分布重构过程的近似与不足，实现准确仿真质子交换铌酸锂渐变折射率分布及其光学特性的目的。
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“质子交换铌酸锂渐变折射率分布的仿真方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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