本发明公开了一种
钴酸
锂靶材及其制备方法，该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材制备方法包括以下步骤：（1）提供
钴酸锂粉末，并将其液压成型为坯件；（2）对所述的坯件进行冷等静压加工；（3）将经过步骤（2）的坯件置于炉中进行烧结，烧结过程采用了多阶段升温加压的方式。按照本发明方法制备的钴酸锂靶材，其晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下，溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜，从而提高全固态薄膜锂离子电池的
储能量和循环次数。
声明：
“全一种钴酸锂靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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