本发明提供了一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸
锂光波导的方法。包括：S1：以铌酸锂为衬底，利用溶胶凝胶法和旋涂技术在铌酸锂衬底上制备二氧化钛溶胶薄膜；S2：通过激光直写技术使二氧化钛溶胶薄膜固化结晶，用丙酮去除非晶化部分，得到图形化的多晶薄膜；S3：最后通过高温扩散工艺制备铌酸锂光波导。本发明利用激光直写技术与溶胶凝胶法的结合，使图形化薄膜的制备更加灵活、方便；同时激光直写晶化装置配有长波长观测光路，可以在激光晶化过程中做到实时观测及调整；而且这种将多种技术结合的方法，在铌酸锂光波导功能器件集成领域具有巨大的潜力。
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来源：北方有色网
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