本申请公开了一种弱相位漂移的铌酸
锂波导，包括铌酸锂层、金属电极以及基底层，所述铌酸锂层包括铌酸锂中心脊和向铌酸锂中心脊两侧延伸的铌酸锂延伸面，所述铌酸锂中心脊的上表面设有金属氧化物层，所述基底层位于所述铌酸锂层的下表面，所述基底层由硅，二氧化硅，硅和二氧化硅多层材料或者二氧化硅、金属与硅的多层材料制成，以此进一步达到达到抑制相位漂移的目的。相较于其他参杂或者其他结构，本结构制作方法简单，同时产生非常好的相位漂移抑制效果。
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“弱相位漂移的铌酸锂波导” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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来源：北方有色网
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