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基于低折射率高介电常数的薄膜铌酸锂电光调制器

928   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:09:02
本发明公开了一种基于低折射率高介电常数的薄膜铌酸电光调制器,属于光通信器件技术领域。器件从下往上依次包括:衬底层、埋氧层、器件层、波导包覆层,所述器件层依次包括铌酸锂光波导、包层介质、电极组,所述包层介质的介电常数高于波导包覆层的介电常数,且所述包层介质的折射率低于铌酸锂光波导的折射率。本发明的调制器,通过在铌酸锂器件层和包覆层之间引入包层介质,因其具有较高的射频介电常数,且在通讯波段具有很高的光学透明度,使得在不引入额外光学损耗的前提下,增加了铌酸锂波导中的射频信号的电场分压,从而提高了电光调制效率。同时具有损耗低、结构紧凑等优点。
声明:
“基于低折射率高介电常数的薄膜铌酸锂电光调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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