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锂负极锂片表面高效镀膜装置

927   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:56:29
本实用新型一种负极锂片表面高效镀膜装置,包括溅射室内腔水平设置有镀膜隔板,两组镀膜隔板上下两端侧壁均匀开设有间隔腔孔,溅射室外端侧壁固定有电机安装板,电机安装板顶部安装有伺服电机,伺服电机输出端套接有两组主动连杆,两组主动连杆外壁分别套接有主动转轮和从动转轮,两组主动连杆转动贯穿溅射室侧壁并套接有转动螺杆,转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管,溅射挡管和镀膜隔板滑动插接,溅射室内腔两端侧壁安装有电动伸缩杆,两侧电动伸缩杆相对伸缩端设置有夹持紧固机构,本实用新型装置转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管,从而在镀膜隔板内腔水平移动,对间隔腔孔进行实时封堵调整。
声明:
“锂负极锂片表面高效镀膜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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