高速连续卷绕式真空蒸镀
锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法，它涉及一种基材蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法。本发明的目的是要解决现有基材蒸镀锂设备对
金属锂的利用率低，蒸镀厚度为≤1μm，蒸镀时污染范围大的问题。高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备包括机体外壳、腔体挡板、放卷系统、基材加热器、主辊、冷却辊、收卷系统、坩埚、坩埚固定架、坩埚加热器、保温层、坩埚横移升降平台、放卷过渡辊、加热过渡辊、冷却过渡辊、上腔真空阀门、下腔真空阀门和加料可视窗口；方法：保证蒸镀厚度范围1μm～100μm之间可随时调整，金属锂最高利用率可达到90％以上。本发明主要用于基材蒸镀锂。
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“高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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