本发明公开了一种
锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系，包括单晶硅基板，单晶硅基板上自下而上依次设有TiN阻挡层、Al薄膜层、SiAlCO薄膜层、SiCO薄膜层、SiO1/3薄膜层和Si薄膜层。本发明通过将SiCO和硅这两种极具潜力的
负极材料相结合，通过比容量和力学性质的梯度设计，综合体现出材料各自的优点并相互弥补不足。采用磁控溅射方法和硅、
铝、石墨等靶材制备薄膜体系，具有附着性好、成本低、成份可控和低温等优点；还通过对SiCO表面进行纳米化处理，进一步加强了锂扩散和界面结合强度，最终得到具有优异
电化学特性和界面力学性能的新型薄膜电极体系，且化学腐蚀法制备SiCO纳米表面具有过程简单快捷、无需贵重仪器、原料丰富廉价、纳米形貌可控等优点。
声明：
“锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
943
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
