一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸
锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的
氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。
声明：
“通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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来源：北方有色网
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