本发明涉及新能源技术领域，特别涉及一种减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺。一种减少管式PECVD插片划伤的方法，该方法主要过程是将空舟放入PECVD炉管，在石墨舟上镀一层氮氧化硅膜，具体包括以下步骤：第一步：空石墨舟进入PECVD管；第二步：用氮气对PECVD管吹扫，去除PECVD管内的空气；第三步：对PECVD管进行抽真空；第四步：沉积氮氧化硅；第五步：用氮气对PECVD管吹扫，去除PECVD管内的SiH
4/N
2O气体；第六步：退出石墨舟。采用在石墨舟表面镀氮氧化硅膜为阻挡层的这种方式，降低石墨舟与硅片的直接接触，减少插片时的划伤，改善
电池片的外观。
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“减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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