碲化镉薄膜太阳电池组件,属于
新能源材料与器件领域。本发明首先在未经激光刻划的透明导电薄膜玻璃上,沉积硫化镉薄膜、碲化镉薄膜,获得“玻璃/透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”结构,对其进行热处理,然后进行激光刻划,刻掉“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”,然后进行化学腐蚀,然后在“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻线位置填注低温固化聚酰亚胺,然后沉积背接触层并进行后处理,然后使用激光刻划掉在“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻痕附近刻划掉“硫化镉/碲化镉/背接触层”,沉积金属背电极层,然后使用激光刻划掉“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻痕和“硫化镉/碲化镉/背接触层”刻痕附近的“硫化镉/碲化镉/背接触层/金属背电极”,获得串联集成的碲化镉薄膜太阳电池组件。该方法保证了全干法制备碲化镉薄膜太阳电池组件的工艺中,沉积硫化镉、碲化镉薄膜时可获得质量均匀一致的薄膜,保证了后续含氯化镉气氛中热处理均匀性,同时又不影响单元电池的形成及其串联集成的实现,从而提高了组件的转换效率。
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来源：北方有色网
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