本发明公开了一种准静态偏转的电热式MEMS微镜及其制作方法。该电热式MEMS微镜包括基底层、电热驱动层和镜片应用层；电热驱动层从上至下依次为高膨胀层、电阻加热层、低膨胀层，电热驱动层的一端与基底层连接，另一端可以相对于基底层进行偏转，电阻加热层通过引线连接外部电源；当电阻加热层通电发热使高膨胀层、低膨胀层吸热膨胀并产生弯曲，带动镜片应用层沿电热驱动层与基底层的连接端偏转，调节电阻加热层的电流可以控制高膨胀层、低膨胀层的温度以及镜片应用层的偏转角度。基于本发明制造的光调配器件，能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能，应用于多个领域，在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。
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来源：北方有色网
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