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新型化学液相沉积炉

1245   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 18:03:19
本实用新型提供了一种碳/碳复合材料的致密及生产制备中的新型化学液相沉积炉,包括工作室、冷凝器和炉盖,工作室和冷凝器是两个由若干冷凝管相贯通的腔室;其中工作室中包括前驱体槽、支架、预制体和感应线圈等;预制体在工作室中被局部感应加热,实现液相沉积;所述前驱体槽位于工作室内,且底部与工作室底部不接触;前驱体槽和工作室底部之间充有前驱体,前驱体槽内充有前驱体;本装置采取局部感应加热,使得预制体不受尺寸限制,较传统化学液相沉积炉工作状态而言,新型化学液相沉积炉致密效果可控制,降低了生产成本。新型化学液相沉积炉采用多管螺旋轴式冷凝器,大大提高了前驱体的回收率,在节省成本的同时降低了对环境的污染。
声明:
“新型化学液相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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