本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，尤其是一种大型化学气相沉积炉双区加热体，包含两个相互独立的加热体一和加热体二，所述加热体一呈圆柱形环绕炉腔，所述加热体二呈圆盘形，位于炉腔底部，本实用新型的有益效果是，加热体一环绕炉腔，提供较大的加热面积，而炉腔底部通过加热体二辅助加热，从而避免炉腔中心部位温度低，保证大型沉积炉温度的均匀性，从而确保炉体中炭/炭
复合材料的沉积效果。
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来源：北方有色网
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