本实用新型涉及化学液相沉积装置。包括炉体、与炉体顶端连接的真空系统、与炉体上部交错式排列的冷凝器、冷却水进水管和出水管相连接的水循环系统、及炉体下部液体的补给系统、和炉体底部底座上放置的被加热制品、及中心置有发热体,制品外围设有感应器,感应器与变频电源连接的电系统。生产效率高,沉积速度快,成本低,消耗能源少,环保性好,化学裂解后,化合物可以回收再利用,不直接排放到大气中去。提高效率几十倍以上。具有较好的社会和经济效益。广泛用于碳/碳、碳/陶等
复合材料的致密化处理工艺。
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来源：北方有色网
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