本发明提供了钨合金涂层制备设备及方法，涉及表面工程技术领域。涉及钨合金涂层制备设备，包括设置在加热炉内的反应器，反应器通过排气管路连通尾气处理装置，反应器通过输气管路分别连通氢气、氩气、六羰基钨和六羰基钼，氩气与六羰基钨和六羰基钼连通。还提供钨合金涂层制备方法，包括采用常压化学气相沉积方法制备金属钨合金涂层，沉积所用的先驱体为六羰基钨和六羰基钼，在低温下进行分解反应实现钨涂层的制备，其反应方程式为W(CO)
6→W+6CO，Mo(CO)
6→Mo+6CO。采用本发明的技术方案，能够提高C/C
复合材料、石墨、钢、钛等材料的抗高温燃气氧化冲刷的能力，抗腐蚀介质侵蚀能力，延长服役时间。
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来源：北方有色网
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