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单晶炉及其坩埚托杆

975   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:37:16
本发明公开了一种坩埚托杆,包括用以支撑连接坩埚托盘的上托杆;可拆卸地与所述上托杆底部连接的下托杆;其中,所述下托杆由碳/碳复合材料制成。上述坩埚托杆的强度高,不易损坏,而且外露于炉腔的部分导热率系数低,解决了单晶炉内热量流失较多的问题。本发明还公开了一种包括上述坩埚托杆的单晶炉。
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“单晶炉及其坩埚托杆” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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