一种基板退火装置用的遮热板,具有:被水平地支承的平板状的基板(1),位于基板的上方、通过辐射热而加热基板上表面的加热器(5),能够在遮蔽基板和加热器之间的遮蔽位置和从遮蔽位置离开的开放位置之间水平移动的遮热板(10)。遮热板(10),包括:由在遮蔽位置的温度差下几乎不变形的低热膨胀材料(碳
复合材料)构成的构造部件(12),和覆盖构造部件的上表面、将该构造部件保持在其容许温度以下的隔热部件(14)。
声明：
“基板退火装置用的遮热板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1066
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
