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真空蒸镀用蒸发源,真空蒸镀装置及方法

893   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:05:13
本发明提供一种真空蒸镀用蒸发源,包括蒸发材料及碳纳米管复合膜,该碳纳米管复合膜为一载体,该蒸发材料设置在该碳纳米管复合膜表面,通过该碳纳米管复合膜承载,该碳纳米管复合膜包括碳纳米管膜结构及复合材料,该复合材料设置在该碳纳米管膜结构表面。本发明还提供一种真空蒸镀装置和真空蒸镀方法。
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“真空蒸镀用蒸发源,真空蒸镀装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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