本发明涉及粉体纳米
复合材料制备装置,具体为一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置,实现纳米粒子的制备,以及纳米粒子与粉体材料的原位复合,普遍适用于制备各种粉体纳米复合材料。该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统,纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶,离子源一端伸入真空室内,转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应,离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶;复合系统设有反弹盘,反弹盘设置于真空室内的下方,与转靶反射的方向相对应;进样/取样系统设有手套操作箱,真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中,手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。
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来源：北方有色网
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