本实用新型提供了一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件，包括镀膜载板、两根石墨导轨、两根碳‑碳
复合材料导轨、碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母；镀膜载板的设置有内六角沉头式通孔的边部、石墨导轨、碳‑碳复合材料导轨按照从上到下的顺序依次叠加在一起且通过碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母连接在一起；碳‑碳复合材料螺杆以及碳‑碳复合材料六角螺母在酸洗过程中不会被氢氟酸腐蚀；碳‑碳复合材料螺杆的机加工难度、机加工工作量以及切削量均比较小；内六角沉头式通孔与碳‑碳复合材料六角螺母均为六角结构，可以卡着固定碳‑碳复合材料六角螺母，可以定位与卡位，在上下方向上对齐摆正，提高了安装精度。
声明：
“板式PECVD系统中的镀膜载板部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1041
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
