本发明公开了一种形成金属玻璃镀膜的靶材,在基材上溅镀形成组成是ZraKbMcNd的金属玻璃镀膜,其中,K、M、N选自于VB族、VIB族、VIIIA族、IB族、IIIA族,或IVA族中的元素,任二者的原子半径百分比不小于15%,a、b、c、d表原子组成百分比,30≤a≤77,11≤b≤50,4≤c≤15,4≤d≤10,靶材具有多数成扇形拼成圆盘状或长方形连续排列的镀膜材料单元,每一镀膜材料单元具有四条分别由锆、K、M、N四金属元素构成的元素分条,且所有元素分条的锆、K、M、N数量比与金属玻璃镀膜成溅镀产生比例关系。
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来源：北方有色网
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