本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及多功能
复合材料气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，所述沉积室的一侧内壁设置有水平的固定柱，固定柱的端部铰接有活动柱，活动柱的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板，两边的夹板之间夹持有旋转盘，旋转盘的底部通过吸盘吸附有待气相沉积的晶圆，本实用新型解决了在对晶圆表面进行气相沉积时，会出现沉积不均匀的状况，影响产品质量的问题，本沉积炉的提出，工作人员能够根据需要实时调整晶圆的受喷区域，保证整个晶圆能够均匀的进行沉积作用，有效提高产品的质量。
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来源：北方有色网
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