一种具有室温气敏响应特性的
石墨烯基电阻型气体传感器及其制作方法，属于气体传感器技术领域。是以单晶硅为衬底，采用热氧化法在单晶硅表面生成二氧化硅层；在二氧化硅层表面沉积3～5对叉指金电极，在叉指金电极上连接有引线，在二氧化硅层和叉指金电极表面涂覆有气体敏感薄膜，该气体敏感薄膜为石墨烯/多壁
碳纳米管/氧化
锌三元
复合材料，薄膜的厚度为10～50μm；气体敏感薄膜接触待测气体前后，其电阻会发生变化，通过测量叉指金电极间电阻的变化，可以获得传感器的灵敏度。感器在室温下具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性，解决了
氧化锌气体传感器通常需要在高温下才能工作的问题。
声明：
“基于石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器及制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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