一种基于超声辅助高重频飞秒激光加工C/SiC
复合材料的方法，先搭建飞秒激光加工光路系统，光路包括高重频飞秒激光器，高重频飞秒激光器输出激光依次经过分1/2波片、分光棱镜、扩束器等进入振镜垂直照射在超声振动装置的加工工位上，超声振动装置的振幅由超声发生器控制，超声振动装置的位置由三维移动平台控制，利用计算机控制振镜进而控制高重频飞秒激光器、振镜、三维移动平台的加工过程中的功率、运动轨迹速度和激光焦点与材料表面的离焦量；本发明超声波振动空化效应和近场对流增强作用有利于减少粒子屏蔽、更好地冷却烧蚀的颗粒和碎屑，降低它们与材料表面结合的趋势，减少表面氧化，提高加工表面质量和去除深度；获得的C/SiC复合材料表面光滑平整。
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来源：北方有色网
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