立式化学气相沉积炉（沉积炭）
品牌：顶立科技
产地：湖南
型号：立式化学气相沉积炉（沉积炭）
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：其他
立式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征
电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用智能压力调控，压力波动小；
全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；
可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
立式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格
立式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
加热器、马弗：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
600 
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