卧式化学气相沉积炉（碳化硅）
卧式化学气相沉积炉（碳化硅）是一款专为以
硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层和基体改性工艺设计的高端设备。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制MTS流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其特殊结构的沉积室密封性好，抗污染能力强，多通道沉积气路设计实现流场均匀，无沉积死角，沉积效果优异。此外，设备配备专用防腐蚀真空机组，可有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，持续工作时间长，维修率极低。主要配置包括多种炉门升降方式、全碳钢或不锈钢炉壳、软碳毡或石墨毡炉胆、等静压石墨加热器，以及先进的工艺气路系统和高精度热电偶，最高温度可达1500℃，温控精度为±7.5℃，满足高精度化学气相沉积工艺需求。
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：真空
温控精度：±7.5
最高温度：1500
额定温度：1500
化学气相沉积炉（碳化硅）可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
技术特征
☆ 采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
☆ 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
☆ 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
☆ 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
☆ 采用**设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
产品规格
主要配置
☆ 炉门：丝杆升降/液压升降/手动升降；旋转移开/平行移开（大尺寸炉门）；手动锁紧/自动锁圈锁紧
☆ 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
☆ 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
☆ 加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
☆ 工艺气路系统：体积/质量流量计
☆ 热电偶：K分度号/N分度号/C分度号/S分度号
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