卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）
湖南顶立科技的卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）是专为冶金及
新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于
碳化硅（SiC）和氮化硼（BN）材料的表面涂层、基体改性及
复合材料制备等工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制MTS等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果好，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好。
品牌：顶立科技
产地：湖南
型号： 卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：其他
产品介绍
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）产品规格
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
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